യാത്രാ പരിധി
20 മി.മീ
റെസലൂഷൻ
0.125 മൈക്രോമീറ്റർ
ആവർത്തനക്ഷമത
ജ1μm
നേരേ
ജ2μm
സമാന്തരവാദം
ജ5 മൈക്രോമീറ്റർ
പിച്ചിംഗ്
10"(50μrad)
യവിംഗ്
പരമാവധി വേഗത
5 മി.മീ/സെക്കൻഡ്
ഭാരം താങ്ങാനുള്ള കഴിവ്
10 കിലോ
ഭാരം
1.5 കിലോ
